硅光子学的成功是二十年创新的产物。该光子平台正在实现从遥感到超高带宽通信的新研究领域和新应用。硅光子学的未来取决于我们确保带宽、尺寸和功率可扩展性的能力。
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参考文献
魏斯，B. L.里德，G. T.和杜士凯。IEEE光子。抛光工艺。列托人。3.， 19-21(1991)。
利特尔，b.e.等人。IEEE光子。抛光工艺。列托人。10， 549-551(1998)。
罗伦佐，J. P. & Soref, R. A.;达成。理论物理。列托人。51， 6(1987)。
郑志刚，巴哈多利，M.， Glick, M.， Rumley, S. & Bergman, K.。视神经节5， 1354-1370(2018)。
Taillaert, D.等。量子电子。38， 949-955(2002)。
阿尔梅达，V. R.，帕内普奇，R. R. &利普森，M.。选择列托人。28， 1302-1304(2003)。
方，a.w.等。IEEE光子。抛光工艺。列托语18， 1143-1145(2006)。
罗密欧，p.r.等。选择快递。14， 3864-3871(2006)。
索尔夫，R. &班尼特，B。量子电子。23， 123-129(1987)。
Liu, A.等。自然427， 615-618(2004)。
阿尔梅达，V. R.，巴里奥斯，C. A.，帕内普奇，R. R. &利普森，M.。自然431， 1081-1084(2004)。
加德斯，F. Y.等。选择快递。13， 8845-8854(2005)。
博格茨，W.等人。J.光波科技。23， 401-412(2005)。
拉希姆等人。J.光波科技。35， 639-649(2017)。
乔治，J.等。ACS达成。板牙。接口7， 13350-13359(2015)。
熊春华，佩尼斯，文华，唐海霞。Nano。12， 3562-3568(2012)。
法尔，C. T.，李，Y. H. D.，卡德纳斯，J. &利普森，M.。Nat,光子。9， 511-514(2015)。
里佐等人。在标准亚微米硅绝缘体上工艺中制造稳健硅光子器件。在IEEE第十七届第四族光子学国际会议(GFP)1-2 (ieee, 2021)。
福斯特，文学硕士，特纳，a.c.，利普森，M. &盖塔，a.l.。选择快递。16， 1300-1320(2008)。
盖塔，李普森，M. &基彭伯格，T. J.。光子Nat。13， 158-169(2019)。
Margalit, N.等人。达成。理论物理。列托人。118， 220501(2021)。
穆迪等人。期刊。光子。4， 012501(2022)。
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相互竞争的利益
M.L.是Xscape的创始人，Voyant的股东和POET的董事会成员-所有这些都开发与硅光子学相关的产品。
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自然材料感谢匿名审稿人对本工作的同行评议所作的贡献。
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硅光子学的革命。Nat。板牙。21， 974-975(2022)。https://doi.org/10.1038/s41563-022-01363-6
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DOI：https://doi.org/10.1038/s41563-022-01363-6
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从量子到全球的材料创新
自然材料(2022)
