图9:溶胶-凝胶法合成SiO2钝化层。|自然gydF4y2Ba

扩展数据图9:SiO的合成gydF4y2Ba2gydF4y2Ba钝化层采用溶胶-凝胶法。gydF4y2Ba

来自:gydF4y2Ba高效蓝色InGaN纳米级发光二极管gydF4y2Ba

扩展数据图9gydF4y2Ba

一个gydF4y2Ba- - - - - -gydF4y2BacgydF4y2Ba,溶胶-凝胶SiO钝化nled的透射电镜图像gydF4y2Ba2gydF4y2Ba反应时间为15分钟(gydF4y2Ba一个gydF4y2Ba), 30分钟(gydF4y2BabgydF4y2Ba)及60分钟(gydF4y2BacgydF4y2Ba).gydF4y2BadgydF4y2Ba- - - - - -gydF4y2BafgydF4y2Ba此外,在相同的合成条件下重复反应两次以增加其厚度。gydF4y2BaggydF4y2Ba, SiO的厚度gydF4y2Ba2gydF4y2Ba反应60 min后,层在23 nm处饱和。gydF4y2BahgydF4y2Ba,纳米棒的PL强度。我们从一块4英寸晶圆上的三个不同位置获得了PL光谱。PL强度随位置的变化很小。此外,随着溶胶-凝胶SiO厚度的增加,发光强度增加gydF4y2Ba2gydF4y2Ba层。gydF4y2Ba

返回文章页面gydF4y2Ba